影响激光干涉仪测量精度的主要因素

       影响激光干涉仪测量精度的主要因素如下：
       1）激光频率稳定性 在激光干涉仪中，将激光波长作为长度基准，激光频率变化直接影响测量结果。
       2）大气折射率
       3）死程误差 在零位时，激光干涉仪两相干光的还有一段光程差，这一段光程差称为死程。死程的变化会引起测量误差，死程误差是激光干涉仪的一项重要误差。
       4）余弦误差 在测定三坐标测量机的定位误差时，需仔细调整，使光束与滑座的运动方向平等。
       5）脉冲当量误差 激光干涉仪显示的较小一个数所对应的量值称为脉冲当量。
       6）细分误差 在干涉条纹一个周期内由插细分不均匀引起的误差。
       7）阿贝误差 为避免阿贝误差，需将角隅棱镜的顶点调整到所测的直线上，否则由于滑座的角运动误差引起阿贝误差。

       在三坐标测量机的定位误差测量中，通常选用商品激光干涉仪。频率稳定性、细分误差由激光干涉仪性能决定。在调整、测量中要注意减小大气折射率、死程误差、余弦误差、脉冲当量、阿贝误差等带来的影响。

      上海欧潼精密设备有限公司为客户提供三坐标测量服务、三坐标检测服务、三坐标维修服务等，并提供桥式三坐标测量仪、高精度三坐标测量仪、三坐标划线机、便携式三坐标、大型三坐标、逆向检测等一系列三坐标产品。

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