球列、球板等实物基准需通过激光干涉仪进行检定,对球板本身的稳定性有较高要求。在分解各项原始误差时,一项重要基础是三坐标测量机本身有很好的重复性。在由综合误差分解为单项误差时,难免有交叉影响,分解得到的原始误差的不确定度比用激光干涉仪等直接测量要大。再则,一般步距或球间距不易做得很小,不像激光干涉仪可对三坐标测量机的各项误差进行连续检测。这些都是它们的不足。
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